氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状

2020-08-07745

随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子体蚀刻室的耐腐蚀性成为可能。讨论氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术。大气等离子喷涂工艺,介绍了粉末特性以及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响,为实验研究奠定了理论基础。

产品功能

1.产品纯度高,粒径小,分布均匀,比表面积大,表面活性高,堆积密度低;

2.白色微黄色粉末,不溶于水和碱,溶于酸。

应用领域  用于钢铁和有色合金的

1.添加剂;

2.引擎零件;

3.机械加工,例如钻孔,切割和焊接;

4.电子显微镜荧光屏;

5.航空等低密度高熔点场合;

6.燃料电池,电解池和气体传感器;

7.耐高温喷涂材料,核反应堆燃料稀释剂,永磁材料添加剂;

8.电子行业的Getter。

包装和储存

本产品默认装在惰性气体防静电袋或真空袋中。收货后,应密封并保存在干燥阴凉的环境中。它不应长时间暴露在空气中,以防止由于水分而结块,这会影响分散性能和使用效果。

说到等离子蚀刻,这是一种不可替代的过程,可以实现从光刻模板到硅晶片的VLSI生产中精细图案的高保真转印。氧化钇是关键的粉末材料之一。氧化钇的化学性质非常稳定,并且具有的抗等离子腐蚀性能。氧化钇涂层对蚀刻工艺腔具有良好的保护作用。此外,氧化钇涂层还可以充当碳阻挡层,并用于制备用于熔炼高附加值合金的石墨坩埚。经过工艺优化和反复试验,热喷涂氧化钇和氧化钇稳定的氧化锆粉已通过验收并投放市场,欢迎选购。